氣體管路是實驗室氣體管道工程的主體部分之一,在鋪設施工時要嚴格遵循相關技術要求及標準,才能保證使用過程中的安全穩(wěn)定。下面四川企惠就來為大家詳細介紹下,在實驗室氣體管道工程施工中,管路鋪設的技術要求。 實驗室集中供氣的管道都要使用高質量、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管(BA級),某些對氣體純度要求不高的地方,如通風柜,可以使用銅管?! 怏w管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。 易燃易爆氣體,如乙...
2023-08
管道的安裝連接是實驗室氣體管道工程的關鍵施工部分,連接方法的正確與否關系到整個工程的質量。目前氣體管道的連接方法主要有螺紋連接、法蘭連接和焊接連接,每種連接方法都有其適用的場景,是由輸送氣體的性質、壓力、溫度以及管道材質、尺寸、安裝場所等因素決定,下面普萊斯特就來為大家詳細介紹實驗室氣體管道的三種連接方法?! ∫弧⒙菁y連接 螺紋連接主要適用于小直徑的管道,連接時,要在螺紋連接部分纏上氟塑料密...
2023-08
一般工藝氣體都是儲存在鋼瓶中,鋼瓶作為氣源相對方便使用。過去無論是在半導體生產(chǎn)車間,抑或是科研單位的實驗室,鋼瓶總是出現(xiàn)在需要的地方,而沒有一個統(tǒng)一的規(guī)劃布置。隨著半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展,對其配套項目也提出了更高要求。比如在集中供氣系統(tǒng)中一般要有專用裝置儲存鋼瓶,在過去十多年中,蓋斯帕克沒有發(fā)明集中供氣之前,特種氣體供應沒有形成有效的系統(tǒng),鋼瓶凌亂,管理混亂,不相容氣體混放等問題比較嚴重,極大的...
2023-07
特種供氣系統(tǒng)報警系統(tǒng)泄漏的應急處理及從業(yè)人員安全注意事項 專用氣瓶裝入專用氣柜,經(jīng)專用氣柜降壓過濾后,送入車間VMB/VMP(有毒氣體用VMB,無毒氣體用VMP)。特殊氣體進入VMB/VMP后,根據(jù)設備所需壓力再次降壓,達到設備所需壓力。最后,降壓后的特種氣體被分成若干支路,送入相應的設備。 特種供氣系統(tǒng)報警系統(tǒng)泄漏的應急處理及從業(yè)人員安全注意事項特殊氣體報警系統(tǒng)對于有毒氣體,本設備配有專門...
2023-07
實驗室氣路系統(tǒng)的驗收過程。這是非常重要的一步,需要確保實驗室氣路系統(tǒng)的質量和安全性。 首先,我們需要審查實驗室氣路系統(tǒng)的設計文件,確保其符合國家相關標準和規(guī)范。然后,我們還需要檢查實驗室氣路系統(tǒng)的安裝質量,包括管道連接是否牢固、調節(jié)器和流量計的精度是否符合要求等?! 〗酉聛?,對實驗室氣路系統(tǒng)中的氣體進行純度檢測,確保其符合實驗的要求。同時,對實驗室氣路系統(tǒng)中的氣體壓力進行穩(wěn)定性檢測,確保其穩(wěn)...
2023-07
實驗室氣體管路系統(tǒng)是實驗室中必不可少的設備之一,它主要用于將氣體從氣源輸送到實驗器材內(nèi)部,是實驗研究中不可或缺的一個環(huán)節(jié)。本文將從多個角度對實驗室氣體管路系統(tǒng)進行概述?! ∫?、組成結構 實驗室氣體管路系統(tǒng)主要由氣源、氣體輸送管路、氣體處理裝置和實驗器材等組成。氣源包括壓縮空氣、氣瓶、液氮或液氧等,氣體輸送管路分為主管道和分支管道,氣體處理裝置包括減壓閥、過濾器、調壓器和調流器等,實驗器材則包...
2023-07
管子、管子聯(lián)接件、閥門和設備上的進出接管間的聯(lián)接方法,由氣體的性質、壓力和溫度以及管子的材質、尺寸和安裝場所等因素決定,主要有螺紋聯(lián)接、法蘭聯(lián)接、承插聯(lián)接和焊接等四種方法?! ?、螺紋聯(lián)接 主要適用于小直徑管道。聯(lián)接時,一般要在螺紋聯(lián)接部分纏上氟塑料密封帶,或涂上厚漆、繞上麻絲等密封材料,以防止泄漏。在1.6兆帕以上壓力時,一般在管子端面加墊片密封。這種聯(lián)接方法簡單,可以拆卸重裝,但須在管道的適...
2023-07
近年來以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質含量的日益嚴格的要求,使高純氣體的配管技術日益受到關注和重視。以下針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗收、日常管理作個簡單的概述?! 〕R姎怏w的種類 電子行業(yè)中常見氣體的分類: 普通氣體,也稱大宗氣體(Bulk gas):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等 特種氣體(Specialty gas)主要有SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL...
2023-07
電子特氣管道系統(tǒng)配管及附件材質的選擇 選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不銹鋼電拋光管(SS316L-EP)等,但是對要求控制高純氣體中總雜質含量≤1.01.0×10-6及以下的管材應用SS316L-EP管。 注:①管路型式以氣體特性設計,惰性氣體使用一般的單層管,作為制程用的反應氣體,則選用高級別的SS...
2023-06
電子特氣管道系統(tǒng)的設計要點: 1.對于不同特性的氣體,要規(guī)劃獨立的供應區(qū)域,一般分為三個區(qū):腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū),將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)?! ?.管路設計需要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風險也越高,通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于...
2023-06